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Tuning of a Superconducting Microwave Resonator at 77 K using an Integrated Micromachined Silicon Vertical Actuator

机译：使用集成微机械硅垂直执行器在77 K调谐超导微波谐振器

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M J Prest; Y Wang; F Huang; M J Lancaster;
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年度 2015
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机译：使用集成的微机械硅垂直致动器在77 K处调谐超导微波谐振器
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3. Silicon comb-drive actuators for low-temperature tuning of superconducting microwave circuits [J] . M. J. Prest, Y. Wang, F. Huang, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2008,第12期

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